Мікроелектроніка – галузь електроніки, яка охоплює проблеми і задачі розробки, конструювання, виготовлення і застосування мікроелектронних виробів. Мікроелектронними називаються вироби з високим ступенем мініатюризації.
ІМС, або ІС – мікроелектронний виріб з високою щільністю пакування електрично з’єднаних елементів або елементів і компонентів, який виконує певну функцію перетворення і обробки електричних сигналів і з точки зору конструктивно-технологічних і експлуатаційних вимог розглядається як одне ціле. Елемент ІМС – частина ІМС (наприклад транзистор, діод, конденсатор), яка не відокремлена від кристала або основи не може розглядатись як самостійний виріб. Компонент, який є частиною ІМС і який реалізує функцію якого-небудь електрорадіоелемента, можна виділити як самостійний виріб (наприклад, мініатюрний резистор у гібридній ІС).
Розвиток мікроелектроніки в даний час йде в трьох напрямах (рис. 1): створення мікромодульних схем; створення інтегральних схем; створення функціональних пристроїв. Основою розвитку мікромодульних схем є розробка мікромініатюрних дискретних (окремих) пасивних і активних елементів високої надійності з мінімально можливою споживанням потужності.
 |
Рис. 1. Основні напрямки мікроелектроніки
Інтегральна схема є сукупністю різних елементів, виконаних в єдиному технологічному циклі на поверхні або в об'ємі певного матеріалу. Така схема може мати ті ж функції, що і аналогічна електронна схема на дискретних елементах.
Найбільш перспективним напрямом в мікроелектроніці є створення функціональних електронних пристроїв. Ці пристрої виконують певні функції цілої схеми (наприклад, випрямляча, підсилювача і ін.). Принцип роботи функціональних пристроїв оснований на використанні атомних і молекулярних властивостей твердого тіла.